Wendeltreppe

EPSI (Extended Phase Shift Interferometry) kombiniert die Vorteile von VSI (Vertical Scanning Interferometry) unlimitierter Höhenmessbereich bei geringerer Auflösung und PSI (Phase Shift Interferometry) extreme Höhenauflösung aber auf λ/2 limitierter Messbereich.

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Verschleißmessung

Verschleißspuren können schnell mit den smartWLI Systemen schnell hochauflösend gemessen werden. Die hohe Auflösung vermindert den Testaufwand da bereits geringe Änderungen der Oberflächentopografie problemlos quantifiziert werden können.

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Nanostrukturen

Die Systeme smartWLI compact und smartWLI nanoscan erlauben die Erfassung von Nanostrukturen auf größeren Flächen mit subatomarer Höhenauflösung und Punktedichten bis zu 0.03 µm.

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Gestrahlte Oberfläche

Optimierte Algorithmen erlauben die Messung von Oberflächen mit sehr großem Aspekt Verhältnis – also kleiner Strukturen mit steilen Flanken. Die hohe Messgeschwindigkeit erlaubt die Erfassung kleinster Details auf großen Flächen.

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Schneidkanten Messung

Die kombinierte Bewertung von Geometrie und Oberflächenstruktur von Schneidkanten ist wichtig, um die Schneidkantenpräparation im Detail zu verstehen und Herstellungsprozesse zu optieren.

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Messung von Blechoberflächen

Die Blechumformung stellt hohe Anforderungen an die Mikrostrukturen sowie an die Welligkeit des Rohmaterials. Parameter wie Wa mit einer Auswertungslänge von 50 mm und Toleranzen von wenigen Mikrometer erfordern die Kombination eines schnellen Abtastprozesses mit einer nm-Genauigkeit und einer dedizierten Software mit allen erforderlichen implementierten Algorithmen.

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