GBS metrology GmbH - Optische Messtechnik

GBS metrology GmbH - Optische Messtechnik

  • Home
  • Produkte
  • Technologie
  • Applikationen
  • Unternehmen
      • Über Uns
      • Aktuelles
      • Karriere
  • English (UK)
  • Startseite | 
  • Applikationen | 
  • Oberflächenmessungen von Wafern

Oberflächenmessungen von Wafern

Wafer haben final sehr glatte Oberflächen, so dass für entsprechende Messaufgaben hochauflösende Sensoren basierend auf der Kohärenz-Scanning (Weißlicht-) Interferometrie mit Piezo eingesetzt werden. Während in der inline Überwachung einzelner Prozesse durchaus Sensoren mit nur einem Objektiv (smartWLI compact, smartWLI firebolt) eingesetzt werden, sind automatische Wafer Messstationen typischer Weise mit Sensoren wie dem smartWLI next und smartWLI firebolt ausgestattet. Diese Sensoren können mit unterschiedlichen Objektiven ausgestattet und für verschiedene Messaufgaben eingesetzt werden. Ansprechpartner: 
Matthias Liedmann
Tel.:  +49 (0) 3677-83710-54
EMail: sales@gbs-ilmenau.de
Liedmann

Superpolierte SiC Oberfläche

Die Messergebnisse solcher Oberflächen beweisen das überragende Auflösungs-vermögen der smartWLI Serie. Auch bei Höhenunterschieden im Bereich eines Atomdurchmessers (1 Angström ≙ Durchmesser Wasserstoffatom ≙ 0.1 nm) können Oberflächenstrukturen klar dargestellt werden, viele Messungen mit smartSTITCH versatzfrei zusammengefügt werden und Bearbeitungsfehler wie kleine Kratzer und die dominante Welligkeit klar dargestellt und bewertet werden.Geschliffene Oberflächen sind relativ rau. Damit reicht es aus, preiswertere Sensoren ohne Piezo Positionierer einzusetzen. Für die Messungen sollten 20x oder 50x Objektive eingesetzt werden, um die notwendige Auflösung für die Messung entsprechend fein strukturierter Oberflächen zu erreichen.

Superpolierte SiC Oberfläche

 

 

Polierter Wafer

Der polierte Wafer weist einerseits lokal sehr fein strukturierte Oberflächenstrukturen andererseits aber auch eine Mikrowelligkeit auf. Beide Eigenschaften sind funktions-relevant, so dass hochauflösende Messung z.B. mit 50x Objektiv mit der Messung größerer Bereich durch z.B. 5 x Objektiv zur Qualitätsüberwachung eingesetzt werden sollten.

Polierter Wafer

 

  

Geschliffener Wafer

Der geschliffene Wafer weist eine sehr fein strukturierte Oberfläche auf. Bewertet werden kann dies durch die Autokorrelationslänge Sal. Sal 0.9 µm bedeutet, dass auch das entsprechende Messgeräte eine sehr hohe Auflösung aufweisen muss. Zur Bewertung der Strukturauflösung sollte das laterale Periodenlimit DLIM (siehe ISO 25178-604) verwendet werden. DLIM < 0,9 bieten die Systeme smartWLI dual und smartWLI nanoscan mit einem 50x Objektiv. Bei allen anderen Systemen muss für entsprechend fein Strukturierte Oberflächen ein 100x Objektiv eingesetzt werden.

Geschliffener Wafer

download appl report

 

  

Black Silicon

„Black Silicon“ Oberflächen weisen sehr kleine Strukturen mit sehr hohem Aspekt Verhältnis auf. Entsprechende Oberflächen können nur unter Einsatz der Systeme smartWLI nanoscan und smartWLI dual mit 115x Objektiv gemessen werden. Der Einsatz FFT basierter Qualitätsüberwachung - Algorithmen beseitigt Auswirkungen die durch Interferenzen und Mehrfachreflexion zwischen den Strukturen bei anderen optischen Messgeräten und Kohärenz-Scanning (Weißlicht-) Interferometern ohne entsprechende Algorithmen entstehen.

Black Silicon

download appl report

 

 

 

Strukturierte Wafer

Mit Messpunktabständen ab 0.03 µm und einem lateralen Periodenlimit DLIM< 0.5 µm können kleine Features oder Teststrukturen auf Wafern schnell und einfach und mit extremer Höhenauflösung gemessen werden.

Black Silicon

download appl report

 

 

Menü

  • Home
  • Produkte
  • Technologie
  • Applikationen
  • Unternehmen

Kontakt zur GBS

GBS metrology GmbH

Robert-Bosch-Ring 8
98693 Ilmenau

Tel. +49 (0) 36 77- 83710-50
Email: info@gbs-ilmenau.de

 

Datenschutzerklärung

Technischer Support

Trotz ausführlicher Dokumentation unserer Produkte hat sich eine technische Frage ergeben?

EMaill: support@gbs-ilmenau.de

Fernwartungssoftware: download

Zertifizierung

Zertifikat ISO9001 2024

  • Aktuelle Stellenangebote
  • Impressum
© 2025 GBS metrology GmbH - Optische Messtechnik

Wir nutzen Cookies auf unserer Website. Einige von ihnen sind essenziell für den Betrieb der Seite, während andere uns helfen, diese Website und die Nutzererfahrung zu verbessern (Tracking Cookies). Sie können selbst entscheiden, ob Sie die Cookies zulassen möchten. Bitte beachten Sie, dass bei einer Ablehnung womöglich nicht mehr alle Funktionalitäten der Seite zur Verfügung stehen.

Akzeptieren Ablehnen
Weitere Informationen