Projektstart "Entwicklung von Verfahren zur Verbesserung der Messauflösung von Profilometern basierend auf mechanischen Achsen."

Die GBS metrology GmbH wurde 1997 gegründet. Die GBS entwickelt, fertigt und vertreibt Oberflächenmesstechnik zur Erfassung und Bewertung von Mikro-Geometrien, Oberflächenstrukturen und Rauheiten. Zu unseren Produkten gehören:

                 • optische 3D Sensoren
                 • optische 3D Profilometer
                 • Portalmessgeräte und fertigungsnahe Messstationen

Durch massive parallele Bildverarbeitung auf hochleistungsfähigen GPGPU’s (general purpose graphic processing units) können kürzeste Messzeiten realisiert und die Messgeräte und 3D Sensoren nicht nur im Labor, sondern auch fertigungsnah sowie inline eingesetzt werden. Durch das eingesetzte Messverfahren der Weißlichtinterferometrie (Kohärenz-Scanning Interferometrie) können dabei unterschiedlichste Oberflächen mit extremer Auflösung erfasst werden.

Die GBS metrology GmbH ist Hersteller von optischen 3D-Oberflächenmessgeräten, sogenannten Profilometern. Normalerweise wird für die Z-Verstellung dieser Messtechnik ein hochpräziser Piezo verwendet. Mit dem Einsatz mechanischer Achsen (Spindeltrieb) könnten die Kosten reduziert und die Einsatzfelder der Messtechnik erhöht werden. Untersuchungen haben aber gezeigt, dass diese Achsen mehrere Unzulänglichkeiten aufweisen, welche sich in den Messergebnissen widerspiegeln. Konsequenz der Voruntersuchungen in der GBS war, dass eine softwareseitige Korrektur sehr aufwendig und nur durch INP gelöst werden kann.

Das Projekt wurde am 01.02.2025 gestartet und wird durch die Thüringer Aufbaubank mit finanzieller Unterstützung der EU gefördert.