Aktuelles
SpectroNet Collaboration Conference 2020
GBS präsentierte im September 2020 zur SpectroNet Collaboration Conference ein neues Verfahren zur Erreichung einer "Super Resolution"
GBS präsentierte in einem Vortrag mit dem Thema: "super resolution for coherence scanning interferometry based on advanced image processing strategies" ein neues Verfahren zur Erhöhung der Auflösung bei smartWLI-Messungen. Zusammenfassend lässt sich folgendes feststellen:
- super resolution improve the measuring results:
- increase the point density
- reduce the noise
- improve the profile fidelity
- the systems can be used to measure structures with an height below 0.1 nm and achieve a profile fidelity down to app. 0.1 µm on structures below 1 µm
- the processing on the GPGPU (general purpose graphic processing unit) enables the calculation of 3d with super resolution in real time
Download der vollständigen Präsentation: super resolution for coherence scanning interferometry based on advanced image processing strategies