smartWLI GBScope

GBScope – 3D-Profiler mit hervorragendem Preis-Leistungsverhältnis

Der manuelle und optional motorisierte Revolver vereinfacht die Bedienung des schnellen optischen Profilmessgeräts mit einem Messvolumen von 100 x 100 x 50 mm³ (xyz) und optionaler Konfiguration bis 300 x 300 x 100 mm³. Der Revolver ermöglicht die einfache Lokalisierung kleiner Merkmale mithilfe von Objektiven mit geringer Vergrößerung und einem schnellen Austausch des Objektivs für Messungen.
Das System ist eine optimierte Lösung für die Messung aller Oberflächen mit Ausnahme hochglanzpolierter optischer und Halbleiteroberflächen. Es ist ideal für Messlabore sowie für Forschung und Entwicklung, die Daten zur Oberflächentextur, Rauheit und Abmessung von Mikrogeometrien benötigen.

Verwendung der Kohärenz-Scanning-Interferometrie (Weißlicht) zur Messung von Rauheit und Mikrogeometrien

Kohärenzscanning-(Weißlicht-)Interferometrie bietet eine viel höhere Auflösung als konkurrierende optische 3D-Messprinzipien wie konfokale Mikroskopie, Fokusvariation, chromatische konfokale Sensoren, Streifenprojektion oder Lasertriangulationssensoren. Als mikroskopisches optisches Messprinzip kann der GBScanner mit Interferenzobjektiven mit Vergrößerungen von 2,5x bis 115x konfiguriert werden. Strukturen ab einer Seitengröße von ca. 0,3 µm können aufgelöst werden. Die Obergrenze liegt bei mehreren mm² für einzelne Scans und mehreren cm² für zusammengefügte Bereiche.

Vorteile von smartWLI-Sensoren und optischen Profiler im Vergleich zu anderen Kohärenz-Scanning-Interferometern (Weißlicht)

Hochgeschwindigkeitskameras kombiniert mit massiver paralleler Datenverarbeitung ermöglichen es, die Datenerfassungs- und Auswertungsprozesse zu beschleunigen und die Systeme robuster und unempfindlicher gegenüber Vibrationen zu machen. Die Beschleunigung ermöglicht die Datenerfassung und das Zusammenfügen von mehreren 100 Einzelscans mit typischen Zykluszeiten von 1 bis 3 Sekunden pro Einzelscan. Die Datenverarbeitung einschließlich Kontrastverstärkung, modellbasierter Signalkorrektur und Datenqualitätsüberwachung ermöglicht die Erfassung schwacher Signale in stark geneigten Bereichen.