smartWLI firebolt

smartWLI firebolt –Hochgeschwindigkeitssensor für Produktionsumgebungen

Die extreme Geschwindigkeit der 10GigE-Kamera ermöglicht die Messung von Nanostrukturen ohne Antivibrationssysteme in Produktionsumgebungen. Verschiedene Stative, Granitportale, Vibrationsdämpfungssysteme und automatische Kippvorrichtungen ermöglichen die Konfiguration maßgeschneiderter optischer 3D-Profiler unter Verwendung des smartWLI firebolt als Schlüsselkomponente für Hochleistungsmessungen. Das SDK inklusive C++- und C#-Bibliotheken sowie Quellcode für Beispielanwendungen ermöglicht die einfache Integration des Sensors in High-End-Messstationen für Halbleiter und Optik.

Verwendung der Kohärenz-Scanning-Interferometrie (Weißlicht) zur Messung von Rauheit und Mikrogeometrien

Kohärenzscanning-(Weißlicht-)Interferometrie bietet eine viel höhere Auflösung als konkurrierende optische 3D-Messprinzipien wie konfokale Mikroskopie, Fokusvariation, chromatische konfokale Sensoren, Streifenprojektion oder Lasertriangulationssensoren. Als mikroskopisches optisches Messprinzip kann der smartWLI firebolt mit Interferenzobjektiven mit Vergrößerungen von 2,5x bis 115x konfiguriert werden. Strukturen ab einer Seitengröße von ca. 0,3 µm können aufgelöst werden. Die Obergrenze liegt bei mehreren mm² für einzelne Scans und mehreren cm² für zusammengefügte Bereiche.

Vorteile von smartWLI-Sensoren und optischen Profiler im Vergleich zu anderen Kohärenz-Scanning-Interferometern (Weißlicht)

Hochgeschwindigkeitskameras kombiniert mit massiver paralleler Datenverarbeitung ermöglichen es, die Datenerfassungs- und Auswertungsprozesse zu beschleunigen und die Systeme robuster und unempfindlicher gegenüber Vibrationen zu machen. Die Beschleunigung ermöglicht die Datenerfassung und das Zusammenfügen von mehreren 100 Einzelscans mit typischen Zykluszeiten von 1 bis 3 Sekunden pro Einzelscan. Die Datenverarbeitung einschließlich Kontrastverstärkung, modellbasierter Signalkorrektur und Datenqualitätsüberwachung ermöglicht die Erfassung schwacher Signale in stark geneigten Bereichen.