Page 3 - von 2D zu 3D Rauheitsmessung
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High Performance Weißlichtinterferometrie




                                               Vergangenheit                  Gegenwart / smartWLI                  Zukunft / smartWLI
         3D Berechnungen                             PC                             Grafikkarten                  weitere Beschleunigung

                                                                                                                   Erfassung mit weiterer
                                                                                 glatt, reflektierend,
       Objekte / Oberflächen                 glatt, reflektierend           transparent, zerklüftet, spitz,           Verbesserung der
                                                                                   Freiformflächen                 Datenqualität bei stark
                                                                                                                   geneigten Oberflächen
     Punkte je Einzelmessung                     bis zu 1 MP                         bis zu 5 MP                           > 10 MP

     Gesamtmesspunktanzahl                  typisch bis zu 10 MP               typisch bis zu 100 MP             typisch bis zu 1000 MP (?)

                                                                                inline Integration für
            Vibrationen                        extrem sensitiv                Rauheitsmessung ohne              weitere Verbesserung durch
                                                                                                                  erhöhte Geschwindigkeit
                                                                               Schwingungsdämpfung




















                                                                                                    Membran 2.5x Objektive



                 Nadelspitze                                     Schneidkante
              100x Objektive                                    20x Objektive
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