Page 12 - smartVIS3D

smartVIS3D für höchste Auflösung in xyz

Standard mit Linienstrukturen:
• 100x Objektiv
• Teilbereich
• Konfiguration mit 5 MP Kamera
• Messpunkt abstand 0.07 µm
• nominal 0.1 µm breite Linienstruktur gemessen

mit ca. 2/3 des nominalen Höhenwertes

3D Siemens-Stern:
Das Ergebnis mit 20x Objektiv
zeigt eine 3d Struktur die exakt
mit dem Referenzfile (Messung

mit 100x Objektiv)
übereinstimmt. Die scharfe
Abbildung bis zum letzten Pixel
beweist, dass keine Filter
eingesetzt werden müssen.

100x Objektiv (Teilbereich) 20x Objektiv (Teilbereich)