3D-Oberflächenmesstechnik

Die Weißlichtinterferometrie gehört zu den bewährten optischen Messverfahren für die Erfassung von 3D-Topografien mit Tiefenauflösungen im unteren Nanometerbereich. Aufgrund der parallelen Erfassung und Verarbeitung der Messpunkte können Höheninformationen großflächig und in sehr kurzer Zeit gewonnen werden.

 

  • Das Objektiv wird durch einen Piezoaktor in der z-Achse bewegt.
  • Interferenzmuster werden auch an transparenten Proben und steilen Flanken aufgezeichnet.
  • Durch den Interferenzeffekt wird eine subnanometer Auflösung erzielt.
  • Die Lage des Korrelogramm bestimmt die absolute z-Position.
  • GBS’s Speedytec Technologie nutzt FPGA’s und GPU’s zur massiv parallelen Bildauswertung und der 3D Berechung der in Echtzeit.

Typische Einsatzfelder in der Qualitätssicherung und in der Forschung sind die Charakterisierung von Oberflächen verschiedener Rauheit (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die präzise Messung von gekrümmten Oberflächen, wie z.B. Mikrolinsen. Mit der Produktfamilie smartWLI bieten wir innovative Lösungen zur Anwendung dieses Messprinzips. Zur Steuerung und Auswertung des gesamten Messprozesses wird die bewährte smartWLI-Software eingesetzt. Die darin enthaltenen effizienten, robusten und hochgenauen Auswertealgorithmen sind das Ergebnis umfangreicher Forschungstätigkeit und Erfahrung auf diesem Gebiet.

Weiter Informationen entnehmen Sie bitte dem smartWLI-Technologie bzw. dem smartWLI-Applikationen Flyer.