GBS mbH - Optische Messtechnik, Industrielle Bildverarbeitung

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Polierte Wafer Oberfläche

Mit den smartWLI’s können größere Bereiche mit atomarer Höhenauflösung gemessen werden.

Unterschiedliche Objektive von 2.5x … 100x bieten dabei die Möglichkeit, das System für unterschiedliche Aufgabenstellung von der Ebenheitsmessung bis hin zu der Erfassung der Mikro-Rauheit einzusetzen. Die Erfassung von ca. 100 Mio. Punkten ist in weniger als 3 Minuten möglich.

Das Video zeigt neben der Oberflächenrauheit eines polierten Wafers eine geschliffene Wafer Oberfläche mit der vergrößerten Darstellung eines Teilbereiches.

 

 

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Werner-von-Siemens-Straße 10
98693 Ilmenau

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Email: info@gbs-ilmenau.de

 

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