Schneidkanten Messung
Die kombinierte Bewertung von Geometrie und Oberflächenstruktur von Schneidkanten ist wichtig, um die Schneidkantenpräparation im Detail zu verstehen und Herstellungsprozesse zu optieren.
Oft eingesetzte optische Messverfahren wie Fokusvariation, Streifenprojektion und Konfokalmikroskopie kommen dabei an die Grenzen Ihres Auflösungsvermögens.
Aus diesem Grund werden insbesondere in Forschung und Entwicklung REM Aufnahmen eingesetzt um die Details darzustellen, auch wenn eine Quantifizierung dann nur eingeschränkt möglich ist.
Mit den erzielten Performancesteigerungen in der Weißlichtinterferometrie sind die smartWLI Systeme mit einer Objektiv unabhängig Höhenauflösung von 0.1 nm und Messpunktabständen ab 0.07 µm in der Lage, diese Lücke zu füllen.